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1、放大倍數(shù):4倍-100萬倍;2、最低分辨率:1nm;3、加速電壓:200V-30KV;4、樣品室直徑:300mm寬,420mm深。
2主要功能編輯
1、配備BSE探頭可以觀察不同組分的樣品表面形貌成分相圖。2、配備能譜儀可以對樣品表面缺陷進行成分分析。
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